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电子化学品又称电子化工材料,是集成电路、显示面板、光伏、半导体等产业制造过程中所需各类专用化学材料的统称,品类繁多,对纯度、金属离子含量、颗粒度管控要求较高。精馏工艺是电子化学品提纯环节里常用的手段,用来去除杂质、提升物料纯度。
湿电子化学品:超纯试剂(硫酸、双氧水、异丙醇、NMP、显影液、剥离液等),用于晶圆清洗、刻蚀等工序,是精馏设备配套较多的品类。
电子特气:半导体工艺气体,部分原料前驱体需要精馏提纯。
光刻胶及配套材料:光刻胶单体、溶剂,部分原料需要精馏分离。
电子树脂、封装材料、前驱体材料,部分单体提纯依赖精馏装置。
低金属污染:设备材质优先选用 316L 不锈钢、PFA、石英,避免材质析出金属离子污染高纯物料。
低滞留:管路、回流头、塔节内部流道平滑,减少物料残留,防止交叉污染。卡盘快装结构便于清洗换料,适配多品种小批量生产。
负压精馏环境:很多电子化学品热敏性较强,采用负压精馏降低沸点,减少物料高温分解。
密封可靠:整套装置气密性要求高,防止空气中水分、杂质进入体系。
可自控回流:搭配回流比控制器(不锈钢防爆 / PFA 防腐型),稳定控制回流比,保障产品纯度稳定。
负压电子级精馏塔、PFA 防腐回流比控制器、卡盘回流头、真空干冰冷阱、石英 / 不锈钢塔节、填料、分布器、真空吸附装置。