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简介
电子级精馏专用回流比控制器是专为电子级高纯物料精馏打造的超高精度控制部件,采用无接触电磁控制,无金属污染,回流比控制精度高、运行稳定,可保障电子级物料的提纯纯度,广泛适配半导体、电子级高纯试剂的精馏系统。
详细介绍
电子级精馏专用回流比控制器是电子级超高纯物料精馏的核心专用控制部件,电子级高纯物料(如半导体湿电子化学品)对金属离子杂质的要求达到 ppt 级别,普通回流比控制器存在金属接触污染、控制精度不足的问题,无法满足电子级物料的提纯要求,该控制器专门针对电子级超高纯要求设计,是半导体高纯材料生产的控制部件。 整套控制器针对电子级超高纯要求做专属优化:采用无接触电磁控制方案,控制机构不与物料直接接触,所有接触物料的部位均采用电子级高纯 PFA 或石英材质,杜绝金属离子污染,从根源保障物料纯度;回流比控制精度可达 ±0.5%,调节范围覆盖 1:1~100:1,控制稳定无波动,可满足电子级物料高精度精馏的控制需求;采用洁净设计,wu死角、易清洁,所有部件出厂前经过超净清洗与洁净检测,符合电子级生产的洁净要求,可对接超纯精馏系统实现全自动闭环控制。 电子级精馏专用 回流比控制器可稳定保障精馏产品达到 SEMI G3-G5 级超高纯标准,广泛应用于半导体湿电子化学品、电子级高纯酸、高纯溶剂、光刻配套试剂的精馏提纯,是电子级超高纯物料生产过程中不可少的核心控制部件,适配电子级物料对超高纯度、极低杂质的严苛要求。