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简介
电子级精馏专用回流头是专为电子级高纯物料精馏打造的超高纯专用部件,采用电子级 PFA / 高纯石英材质,无金属离子析出,离子析出量达 ppt 级,回流比调节精度高,可稳定保障电子级物料的提纯纯度,广泛适配半导体、电子级高纯试剂的精馏系统。
详细介绍
电子级精馏专用回流头是电子级超高纯物料精馏的核心专用部件,电子级高纯物料(如半导体湿电子化学品)对金属离子杂质的要求达到 ppt 级别,普通玻璃、不锈钢回流头会析出金属离子污染产品,无法满足电子级物料的提纯要求,该回流头专门针对电子级超高纯要求设计,是半导体高纯材料生产的核心部件。 整套部件针对电子级超高纯要求做专属优化:材质采用进口电子级高纯 PFA 或高纯熔融石英,所有接触物料的部位无任何金属部件,金属离子析出量控制在 1ppt 以下,从根源杜绝材质本身的离子污染;采用高精度控制机构,回流比调节精度可达 ±0.5%,调节范围覆盖 1:1~100:1,可满足电子级物料高精度精馏的回流比控制要求;采用wu死角洁净设计,内壁光滑无残留,易清洁消毒,避免交叉污染,所有部件出厂前经过超净清洗与洁净检测,满足电子级生产的洁净要求。 电子级精馏专用 回流头可稳定保障精馏产品达到 SEMI G3-G5 级超高纯标准,广泛应用于半导体湿电子化学品、电子级高纯酸、高纯溶剂、光刻配套试剂的精馏提纯,是电子级超高纯物料生产过程中不可少的核心专用部件,适配电子级物料对超高纯度、极低杂质的严苛要求。