耐氢fu酸 PFA 精馏塔，可定制实验室小试、中试、百吨级工业化量产全规格机型，广泛应用于电子湿化学品厂、半导体材料企业，是优良制程芯片生产不可少的核心配套精制装备。

Name: 耐氢fu酸 PFA 精馏塔
Brand: 鲁齐天
Availability: InStock

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更新时间：2026-07-24

厂商性质：生产厂家

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简介：

耐氢fu酸 PFA 精馏塔是专为电子级氢fu酸等含氟强腐蚀物料精制打造的专用设备，全过流采用电子级高纯 PFA 一体模压，无金属无石英，杜绝腐蚀析出，采用低温减压精馏工艺，避免氢fu酸分解，可稳定产出 SEMI G3-G5 级超高纯氢fu酸，广泛用于半导体晶圆蚀刻、优良制程高纯氢fu酸的规模化提纯。

详细介绍：

耐氢fu酸 PFA 精馏塔是超高纯氢fu酸提纯的唯1适配专用精制设备，氢fu酸腐蚀性较强，可腐蚀金属、石英、普通塑料等绝大多数材质，普通精馏塔会被快速腐蚀并析出大量杂质，无法适配氢fu酸的提纯需求，该塔从材质到工艺全链路针对氢fu酸的强腐蚀性定制，是半导体级超高纯氢fu酸量产的核心装备。整套设备针对氢fu酸特性做专属优化：材质上全部采用电子级高纯 PFA 一体模压成型，所有接触氢fu酸、酸蒸汽的过流部件无任何金属、石英构件，杜绝材质腐蚀析出氟化物、金属离子污染成品，离子析出量控制在 ppt 级别；工艺上采用高真空深度减压 + 亚沸低温汽化组合方案，通过高真空将氢fu酸的汽化温度降至 40℃以下，全程无沸腾鼓泡、无雾沫飞溅，既避免氢fu酸高温分解产生杂质，也从根源消除气溶胶裹挟超痕量重金属、微颗粒杂质的问题；配套全程正压氮气惰性保护系统，隔绝空气中水汽、粉尘，避免氢fu酸吸水与外源污染，搭载高精度温控与全自动控制系统，实现全流程密闭无人值守运行。耐氢fu酸 PFA 精馏塔是目前唯1能稳定生产 SEMI G3-G5 级超高纯氢fu酸的精馏设备，单塔即可产出 G3 级氢fu酸，多塔串联可达到 G4、G5 级 ppt 级超高纯标准，满足 7nm 以下优良制程晶圆蚀刻、清洗的严苛要求。可定制实验室小试、中试、百吨级工业化量产全规格机型，广泛应用于电子湿化学品厂、半导体材料企业，是优良制程芯片生产不可少的核心配套精制装备。

上一个：透明石英玻璃精馏塔