电子级 精馏塔，配套分区精准温控、可调回流比、负压真空与氮气惰性保护系统，可高效去除重金属离子与微颗粒杂质，稳定产出 UP、UPSS 级高纯酸、电子醇、光刻配套溶剂，广泛用于半导体晶圆清洗、光伏高纯药剂生产线。

简介：

电子级精馏塔是专为电子级湿化学品精制打造的特种分离设备，整体采用高纯石英、PFA 全氟衬里无金属结构，可适配亚沸低温汽化或精密精馏工艺，杜绝金属离子析出与雾沫夹带污染。配套分区精准温控、可调回流比、负压真空与氮气惰性保护系统，可高效去除重金属离子与微颗粒杂质，稳定产出 UP、UPSS 级高纯酸、电子醇、光刻配套溶剂，广泛用于半导体晶圆清洗、光伏高纯药剂生产线。

详细介绍：

电子级 精馏塔是半导体、光伏、微电子领域制备超高纯湿电子化学品的专用特种分离设备，区别于普通化工精馏塔，核心针对电子级介质对金属离子、微颗粒杂质的严苛要求设计，可适配电子级强酸、醇类、光刻配套溶剂、清洗药剂等各类高纯介质的精制生产，是优良制程芯片制造配套材料生产的核心工艺单元。

整套设备从原料缓存、塔体主体到成品收集全流程采用无金属接触设计，所有过流部件均采用高纯熔融石英、模压 PFA、PTFE 氟塑料材质，摒弃不锈钢、碳钢等金属构件，从根源杜绝重金属离子析出污染介质。塔体可根据物料特性适配两种工艺路线：针对热敏、强腐蚀高纯酸可采用亚沸低温表层汽化工艺，全程无沸腾雾沫夹带，截留 99.99% 以上的金属微粒；针对电子醇类、有机溶剂可采用精密精馏工艺，搭配四氟规整填料、可调回流分配头强化多组分分离效果。设备标配分区独立 PID 温控系统、多级水冷冷凝结构，可配套负压真空机组、全程氮气惰性密封回路，降低汽化温度的同时隔绝外界粉尘、水汽造成二次污染，搭载全自动控制系统可实现连续进料、恒回流比采出、自动排残，支持在线纯度监测。

电子级 精馏塔的提纯精度远高于普通工业精馏塔，单塔运行即可将金属杂质控制在 ppb 级别，多塔串联可达到 ppt 级超高纯度，成品稳定满足 UP、UPSS 级电子化学品标准。可根据产能需求定制不同规格：实验室小试机型适配小批量高纯试剂制备，工业化连续塔适配年产百吨级电子化学品生产线，目前广泛应用于晶圆清洗试剂、光伏高纯蚀刻液、半导体光刻配套溶剂的精制工序，可提供工艺测算、非标定制、安装调试全流程配套服务。