高纯酸亚沸精馏提纯设备，采用低温亚沸汽化工艺，液体不沸腾，杜绝雾沫夹带重金属杂质，搭配精密温控、密闭冷凝与氮气保护系统。支持间歇实验室机型与工业连续精馏塔定制，自动化完成进料、采出、排残，提纯后酸液可达 UPSS 级，适配芯片清洗、实验室痕量检测等场景，提供整套设备设计、安装调试配套服务。

简介

高纯酸亚沸精馏提纯设备专为硝酸、氢fu酸、硫酸等电子级强酸精制打造，设备釜体、管路采用高纯石英与 PFA 材质，无金属析出污染。采用低温亚沸汽化工艺，液体不沸腾，杜绝雾沫夹带重金属杂质，搭配精密温控、密闭冷凝与氮气保护系统。支持间歇实验室机型与工业连续精馏塔定制，自动化完成进料、采出、排残，提纯后酸液可达 UPSS 级，适配芯片清洗、实验室痕量检测等场景，提供整套设备设计、安装调试配套服务。

详细介绍

高纯酸亚沸精馏提纯设备是针对氢fu酸、硝酸、盐酸、硫酸等电子级强酸精制的专用成套装备，解决传统蒸馏设备金属溶出、雾沫夹带、高温分解等难题，广泛服务半导体湿电子化学品、检测实验室高纯试剂生产领域。设备分为实验室间歇式机型与工业化连续精馏塔，可根据产能需求非标定制，整套设备从原料缓存到成品收集实现全流程密闭处理。

设备所有与酸液、酸蒸汽接触部件选用高纯熔融石英与 PFA 氟塑料，全程规避不锈钢、铜等金属材料，从源头避免重金属离子析出污染。设备采用液面定向温和加热，控制温度低于酸液沸点，仅表层分子缓慢汽化，无沸腾气泡飞溅，盐类、颗粒物、重金属杂质留存残液。系统搭载高精度 PID 温控、多级水冷冷凝、可调回流结构，可配套真空负压机组与氮气惰性保护回路，既能进一步降低汽化温度，防止强酸高温变质，也能隔绝空气中粉尘造成二次污染。

整机配套智能自控系统，可自动完成进料、恒压精馏、馏分采集、残液排放，实时监测温度、液位、真空度参数，减少人工介入带来的污染。传统沸腾精馏产出酸液杂质多，无法满足优良晶圆清洗标准，该设备单级提纯即可将金属杂质控制在 ppb 级别，多塔串联可达到 ppt 超高纯度，成品符合 UP、UPSS 行业标准。设备密封性能优异，酸雾挥发量低，配套简易废气处理装置即可满足环保要求，设备拆装清洗便捷，运维成本较低。

在芯片蚀刻、晶圆清洗、地质环境痕量分析等生产实验工序中，高纯酸 亚沸精馏提纯设备凭借耐强腐蚀、低温低污染、提纯精度高的核心优势，成为高纯强酸制备不可少的核心装置。厂家可提供工艺测算、设备三维方案、上门安装调试、定期维保一体化服务，出厂前均经过气密性、温控稳定性整机检测，适配小批量实验室研发与规模化电子化学品生产线使用。