半导体化学品撬装纯化模块是适配半导体湿电子化学品专用的一体化集成式高纯净化装备，采用标准化撬装模块化设计，高度整合前置预处理、精密过滤、离子深度脱除、膜精制纯化、在线品质监测、自动清洗再生全工艺单元。设备出厂完成整体组装与调试，无需复杂土建及管路布设，现场对接即可投入量产，依托超低析出高纯材质与复合梯度纯化工艺，精准去除蚀刻液、清洗液、高纯酸碱、电子溶剂中的痕量金属离子、微纳米颗粒、胶体杂质。具备

电子化学品 真空干冰冷阱 吸附装置 离子交换设备 石英 / PFA 精馏塔 超净化学品包装桶/瓶 蒸馏设备 同分异构体精馏塔 搪瓷精馏塔 不锈钢精馏塔 热敏物料精馏塔 电子级精馏塔 膜分离 化学品精密过滤设备 半导体精馏系统 亚沸精馏设备 高纯试剂纯化设备 半导体湿电子化学品纯化设备 高纯化学品纯化设备撬装模块

回流比控制器 精馏回流头

多级减压精馏低氘水设备 精馏法低氘水成套生产线 工业化连续低氘水提纯设备 低氘水生产线 膜分离耦合低氘水制备机组 全自动撬装低氘水生产模块 高纯度超轻水低氘水生产线

转盘萃取塔 塔式液液萃取分离塔 连续逆流液液萃取装置

分子蒸馏仪

反应釜

分布器 填料